| 加工定制：是 | 品牌：sevenstar 七星华创 | 型号：D07-19C |
| 类型：质量流量计 | 测量范围：5sccm-20slmm3/h | 精度等级：±1％F.S.(20slm ±2％F.S.) |
| 适用介质：纯净，干燥的气体 |
表1. D07-19C型MFC、D07-19CM型MFM性能指标
编号 | 项 目 | D07-19C | D07-19CM | |
1 | 流量规格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||
( 0~1,2,3,5,10,20) SLM | ||||
2 | 准确度 | ±1 % F.S. (20SLM: ±2 % F.S.) | ||
3 | 线性 | ±0.5 % F.S. (20SLM: ±2 % F.S.) | ||
4 | 重复精度 | ±0.2 % F.S. | ||
5 | 响应时间 | ≤1.5 sec | ||
6 | 工作压差范围 | ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa ＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa | <0.02MPa | |
7 | 耐压 | 3 MPa | 10 MPa | |
8 | 温度系数 | Zero: ≤±0.05% F.S./℃; Span: ≤±0.1% F.S./℃; | ||
9 | 工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | ||
10 | 输入信号 | 0 V ~ +5.00 V | - | |
11 | 输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | ||
12 | 电插头形式 | DB15 pin（Male） | ||
13 | 电源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | +15 V 50 mA -15V 50 mA | |
14 | 抗电磁干扰 | CE | ||
15 | 外形尺寸 | 见图4 | ||
16 | 重量 | 1.2 kg | 1.0kg | |
注意
:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
F.S. (FullScale): 满量程值
