| 加工定制：是 | 品牌：sevenstar 七星华创 | 型号：D07-11C |
| 类型：质量流量计 | 测量范围：0-30slmm3/h | 精度等级：±1％F.S. |
| 适用介质：纯净，干燥的气体 |
11C型MFC性能指标
编号 | 项 目 | D07-11C |
1 | 流量规格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM |
2 | 准确度 | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
3 | 线性 | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
4 | 重复精度 | ±0.2 %F.S |
5 | 响应时间 | 电特性: ≤10 sec 气特性: ≤ 4 sec |
6 | 工作压差范围 | ≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa ＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa |
7 | 耐压 | 10 MPa |
8 | 工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
9 | 输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) |
10 | 电源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA |
11 | 外形尺寸 | 详见图4 |
12 | 重量 | 1.2 kg |
注意
:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
